1. 陶瓷靶材制备方法：采用百分之99.95纯度CaCO3、百分之99.9或百分之99.99纯度RuO2粉末, 按化学计量比配料，球磨5至8小时后混合均匀，在大于1100度下通过热压烧结制备陶瓷靶材。
2. 陶瓷靶材规格：单一结构相；直径20至50毫米，厚度3至6毫米，Ru是贵金属，高质量的CaRuO3靶材价格通常在3500元及以上，而不含贵金属元素的普通靶材通常在2000元及以上。
3. 靶材实物图和XRD测试图。
名 称：钌酸钙
| CAS号:
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符 号：CaRuO3
| 熔 点 ：
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分子量：189.148
| 纯 度：4N
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产品名称
| 状态
| 纯度
| 尺寸
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铁酸钡
| 靶材
| 4N
| 20-50毫米，非常规尺寸可定制
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产品优点
| 纯度高，晶粒小，致密度高。皮埃路提供多种氧化物掺杂靶。
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产品用途
| 磁控溅射镀膜材料等
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产品附件
| 报价单/订购合同/装箱单/质检单/发票
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产品包装
| 真空包装/真空中性包装/特殊包装外加固包装
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制作工艺
| 热压技术
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适用仪器
| 多种型号磁控溅射、热蒸发、电子束蒸发设备
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交货期
| 现货当天发，常规期货2周
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产品运输
| 顺丰快递，德邦物流
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起订量
| 靶材1片
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官方网站
| www.ceramictarget.com
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手机
| 18951739846 | 邮箱：info@piezo-nano.com
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南京皮埃路电子技术有限公司提供的陶瓷靶材采用常压烧结、气氛烧结、热等静压烧结等工艺,严格控制原料的纯度、成分以及成型坯料的设计尺寸,坯料经过精密机械加工成为最终成品靶材。可根据客户要求定制加工特殊掺杂比例靶材产品优势：靶材纯度高、致密度高、成分均匀
