市场上拥有众多靶材制作厂家，其靶材的质量也有较大的波动。往往靶材的质量是通过其成分、致密度以及制作工艺决定的，不同的生产厂家对于这三种因素的倾重也不同。现在国内靶材生产厂家很多，价格也很大差别 。如此多的制膜靶材厂家哪家好？下面由专注于制膜靶材研发生产的南京皮埃路电子技术有限公司总结了相关的内容与大家分享。

薄膜工艺自从被研究人员发现以来，其工艺方法也在不断的进步。其中脉冲激光沉积（PLD）与磁控溅射法两种方法在众多方法中占据了较为重要的位置。两种制膜方法都涉及到了其原材料---靶材。因此靶材的质量直接影响了两种制膜方法的镀膜质量。

主要的种类有：Ga2O3、EuTiO3、MgAl2O4、MgCaO2、MnCoNi、In2O3、Sr2FeMoO6、Sr2CrRuO6、LaZnMnO3、LiFePO4、LsSrNiO3、LaZnMnO3、LaBaCoO3、HoSmBa2Cu3O7、HoBaCo2O6、GdSrMnO3等。靶材的致密度越高，成分与制作工艺越复杂，其造价也会越高。科研人员往往希望获得性价比较高的靶材。

本文以皮埃路电子技术有限公司生产的SrRuO3陶瓷靶材为例，为大家具体讲述它的参数规格和制备方法。

1. 陶瓷靶材制备方法：采用百分之99.95纯度SrCO3、百分之99.9或百分之99.99纯度 RuO2粉末, 按化学计量比配料，球磨5至8小时后混合均匀，在大于1100度通过热压烧结制备陶瓷靶材。

2. 陶瓷靶材规格：单一结构相；直径20至50毫米，厚度3至6毫米；SrRuO3含有贵金属元素 Ru，靶材价格通常在3500元及以上。

如有想要专业定制制膜靶材的客户，欢迎咨询皮埃路电子技术有限公司。

皮埃路电子自成立以来，始终秉承客户至上，质量至上的理念，根据客户的要求生产稳定可靠靶材产品。皮埃路电子技术有限公司是南京政府321项目资助的高科技公司，由新加坡南洋理工大学、南京理工大学、南京航空航天大学和南京大学的几位教授负责技术指导。我们乐意为您定制高纯、高密度的溅射靶材，方便您进一步通过磁控溅射、脉冲激光沉积（PLD）系统制备高质量的薄膜。

如果您希望研究一种目前尚未存在的单晶薄膜，您可以自己设计组分，我们会为您量身定做专用的氧化物陶瓷靶材、也可以组织专家学提供薄膜生长方面的建议。我们也可以通过的磁控溅射或PLD为您定做相应的薄膜，甚至进行XRD、SEM和AFM检测。在您提出需求和签订合同之后，我们将在3-5周内为您提供专用的高质量靶材。我们的每个靶材的原材料纯度都保证在百分之99.9以上，部分靶材的原材料纯度可以实现百分之99.99。靶材价格是由原材料和加工难度决定的，具体费用请拨打吸顶悬浮的电话联系咨询！